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首頁-產品系統(tǒng)-橢偏儀系列-光譜橢偏儀-SE-VF 光譜橢偏儀

SE-VF 光譜橢偏儀

簡要描述:針對微區(qū)圖形結構測量定制的專用型光譜橢偏儀

產品型號:  更新時間:2025-04-27  瀏覽次數:3159

  • 廠家實力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 質量保障

    Quality Assurance

詳細介紹

一、概述

SE-m 是一款針對半導體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結構測量的專用型光譜橢偏儀,其采用  超小微光斑探測測量技術 定制超快測量速度等技術。可應用透明各類襯底上的減反膜、導電膜等薄膜的n/k/d測量,適用于微區(qū)圖形的各種光學參數解析。


二、特色功能

■ 可定制光斑尺寸,最小可達30um;

■ 超快測量,單次測量時間小于0.5秒 ;

■ 系列配置靈活,支持功能定制設計;

■ 結構緊湊,更適應在線集成測量

三、測量實例

捕獲.JPG微區(qū)圖形結構測量

捕獲.JPG

四、應用場景 

應用于光學常數測量,適用于各類光學薄膜等鍍膜檢測應用。

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